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Atomic layer deposition
释义
Atomic layer deposition
基本
例句
原子层沉积
An apparatus and process for atomic layer deposition that minimizes mixing of the chemicals and reactive gases is disclosed.
在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法,该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。
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更新时间:2025/2/23 12:51:59