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词汇 ebl
释义 ebl 英'ebl美'ebl BNC²³⁶²¹³⁺¹
基本例句
电子束蚀刻¹⁰⁰
Process of Si quantum wire based on EBL and RIE and process of nano- structure metal gate based on EBL, electron beam evaporation and lift-off techniques are reported in this paper.
介绍了用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线和用电子束光刻、电子束蒸发以及剥离技术制备纳米金属栅的工艺方法; cnki
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