| 释义 |
DRIE drie COCA⁴⁹⁰²⁵BNC²³⁶²¹³⁺¹
基本例句
反应离子刻蚀¹⁰⁰
Based on the result of simulation, the V-shaped beam thermal micro- actuator array is fabricated on a SOI wafer by DRIE.
根据模拟结果，采用 SOI硅片和微细加工 DRIE技术制作了这种 V型梁微执行器并联阵列。 cnki
By optimizing DRIE parameters and RIE etching the trenches' opening, the ideal trench profile is obtained to ensure that the trenches are fully refilled without voids.
采用经过参数优化的 DRIE刻蚀深硅槽，并用反应离子刻蚀 RIE对深槽开口形状进行修正，制造了具有理想侧壁形状的深槽，利于介质的完全填充，避免产生空洞。 cnki
Emerging3D interconnection technologies and high volume MEMS applications require cost effective mass production DRIE systems.
新兴的3D互联技术以及高产量的 MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统。 dictall
This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching DRIE process is employed.
加速度计用普通的 N型硅片制造，为了刻蚀高深宽比的结构，使用了深反应离子刻蚀 DRIE工艺。 cnki |